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JB/T 8946-2010 真空离子镀膜设备
标准编号：JB/T 8946-2010
标准名称：真空离子镀膜设备
发布日期：2010-02-21
实施日期：2010-07-01
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
陈大民、冯玉国 等
起草单位
大连远东真空技术有限公司、沈阳北宇真空设备厂等
标准范围
本标准规定了真空离子镀膜设备(以下简称设备)的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备；电子束蒸发离子镀膜设备；磁控溅射离子镀膜设备；上述三类离子镀膜设备的组合。 其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。