SJ/T 11131-1997 蒸发镀膜设备基本参数系列

电子行业标准
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标准编号:SJ/T 11131-1997

标准名称:蒸发镀膜设备基本参数系列

发布日期:1997-09-02

实施日期:1998-01-01

归口单位:

批准发布部门:电子工业部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了蒸发镀膜设备基本参数系列。 本标准适用于极限压力为3×10^(-3)P|(a)~5×10^(-6)P|(a)范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。

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