SJ/T 10478-1994 磁控溅射设备通用技术条件

电子行业标准

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标准编号：SJ/T 10478-1994

标准名称：磁控溅射设备通用技术条件

发布日期：1994-04-11

实施日期：1994-10-01

归口单位：

批准发布部门：电子工业部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了磁控溅射设备的术语、产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于磁控溅射设备。

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