JB/T 7061-1993 电力半导体器件用硅圆片

机械行业标准
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标准编号:JB/T 7061-1993

标准名称:电力半导体器件用硅圆片

发布日期:1993-10-08

实施日期:1994-01-01

归口单位:

批准发布部门:机械工业部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了电力半导体器件用硅单晶切割片和研磨片(简称硅片)的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输与贮存。 本标准行之有效用于直拉单晶、悬浮区熔单晶、中子嬗变惨杂晶经切割、双面研磨制备的圆形硅片。

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