JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
标准编号：JC/T 2243-2014
标准名称：等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
起草人
张葆青、白凤茹
起草单位
上海强华石英有限公司、久智光电子材料科技有限公司等
标准范围
本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管。
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