YS/T 38.2-2009 高纯镓化学分析方法 第2部分：镁、钛、铬、锰、镍、钴、铜、锌、镉、锡、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准编号：YS/T 38.2-2009

标准名称：高纯镓化学分析方法 第2部分：镁、钛、铬、锰、镍、钴、铜、锌、镉、锡、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法

发布日期：2009-12-04

实施日期：2010-06-01

归口单位：全国有色金属标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

刘英、刘红

起草单位

北京有色金属研究总院、峨嵋半导体厂

标准范围

本标准规定了高纯镓中杂质含量的测定方法。 本标准测定范围：各元素质量分数如下：Mn：2×10-7％～1×10-5％；Mg：5×10-7％～1×10-5％；Cr：5×10-7%～1×10-5%； Zn：1×10-6％～1×10-5％；Pb：2×10-7％～1×10-5％；Ni：5×10-7％～1×10-5％；Sn：5×10-7％～1×10-5％；Cu：2×10-7％～1×10-5％；Co：5×10-7％～1×10-5％；Cd：5×10-7％～1×10-5％；Bi：5×10-7％～1×10

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