JB/T 5631-1991 半导体器件外延炉能耗分等

机械行业标准

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标准编号：JB/T 5631-1991

标准名称：半导体器件外延炉能耗分等

发布日期：1991-08-27

实施日期：1992-07-01

归口单位：

批准发布部门：机械电子工业部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。

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