SJ/T 10584-1994 微电子学光掩蔽技术术语

电子行业标准
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标准编号:SJ/T 10584-1994

标准名称:微电子学光掩蔽技术术语

发布日期:1994-08-08

实施日期:1994-12-01

归口单位:

批准发布部门:电子工业部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了微电子学光掩蔽技术的有关术语。 本标准适用于黴电子学光掩蔽技术的科研、生产、教学、贸易和技术交流。

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