SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法

电子行业标准

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标准编号：SJ/T 10274-1991

标准名称：掩模对准曝光机测试方法

发布日期：1991-11-12

实施日期：1992-01-01

归口单位：

批准发布部门：电子工业部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了测试掩模对准曝光机的一般要求和方法。本标准适用于接触式和接触一接近式曝光机。

标准文档截图

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