SJ/T 10312-1992 电子束暴光机通用技术条件

电子行业标准

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标准编号：SJ/T 10312-1992

标准名称：电子束暴光机通用技术条件

发布日期：1992-06-15

实施日期：1992-12-01

归口单位：

批准发布部门：电子工业部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。

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