SJ/T 10627-1995 通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

电子行业标准

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标准编号：SJ/T 10627-1995

标准名称：通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法

发布日期：1995-04-22

实施日期：1995-10-01

归口单位：

批准发布部门：电子工业部

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