JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法

机械行业标准

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标准编号：JB/T 2965-1992

标准名称：溅射离子泵性能测试方法

发布日期：1992-12-24

实施日期：1993-07-01

归口单位：

批准发布部门：机械工业部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。
本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。

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