标准编号:JB/T 2965-1992
标准名称:溅射离子泵性能测试方法
发布日期:1992-12-24
实施日期:1993-07-01
归口单位:
批准发布部门:机械工业部
本标准规定了溅射离子泵性能测试方法。 本标准适用于抽速大于10Ls(-1)的离子泵。