SJ/T 10479-1994 自动砂轮划片机通用技术条件

电子行业标准

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标准编号：SJ/T 10479-1994

标准名称：自动砂轮划片机通用技术条件

发布日期：1994-04-11

实施日期：1994-10-01

归口单位：

批准发布部门：电子工业部

起草人

起草单位

标准范围

本标准规定了自动砂轮划片机的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于切割分离半导体硅片、石英、陶瓷等材料的划片机。

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