标准编号：JB/T 4081-1991
标准名称：溅射离子泵型式与基本参数
发布日期：1991-07-22
实施日期：1992-07-01
归口单位：
批准发布部门：机械电子工业部
u3000u3000本标准规定了普通型式的溅射离子泵的型式与基本参数。 u3000u3000本标准适用于二电位的二极型和三极型溅射子泵。
立即下载标准文件