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T/BSPT 002-2018 微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法
标准编号：T/BSPT 002-2018
标准名称：微纳加工 离子束辐照应变诱导三维纳米结构与器件的加工方法
英文名称：Micro/nano fabrication The fabrication of 3D nanostructures formed by strain via ion beam irradiation
发布日期：2018-06-20
实施日期：2018-07-01
团体名称：北京粉体技术协会
起草人
顾长志、刘哲、李无瑕、杨海方、李俊杰
起草单位
中国科学院物理研究所
标准范围
本标准规定了利用离子束辐照应变诱导技术构筑三维纳米结构与器件的加工方法。
本标准适用于利用离子束辐照操控纳米线和薄膜的空间应变，进而实现三维空间中由一维纳米线和二维薄膜构成的三维纳米结构与器件。