T/CEMIA 006-2018 膜厚监控用石英晶振片

团体标准

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标准编号：T/CEMIA 006-2018

标准名称：膜厚监控用石英晶振片

英文名称：Quartz crystal resonator for film thickness control

发布日期：2018-12-14

实施日期：2019-03-14

团体名称：中国电子材料行业协会

起草人

王丽娟、毛晶、张立强、宫桂英、李健德、李剑、李洁、陈中康、张翔

唐山万士电子有限公司、武汉海创电子股份有限公司，唐山国芯晶源电子有限公司、北京晨晶电子有限公司，江苏省东海硅产业科技创新中心。

本标准规定了膜厚监控用石英晶振片的产品分类、技术要求、试验和测量方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存的要求。