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T/CSTM 00003-2019 二维材料厚度测量 原子力显微镜法
标准编号：T/CSTM 00003-2019
标准名称：二维材料厚度测量 原子力显微镜法
英文名称：Thickness measurements of two-dimensional materialsAtomic forcemicroscopy (AFM)
发布日期：2019-01-03
实施日期：2019-02-01
团体名称：中关村材料试验技术联盟
起草人
卜天佳、任玲玲、姚雅萱、张梅、魏晓晓、尹宗杰、黎佩珊、仇登利、魏岳腾、董国材、张小敏、何丹农、张迎、陶兴付、李慧琴、吴琼、张晶晶
起草单位
中国计量科学研究院、北京市理化分析测试中心、广州特种承压设备检测研究院、布鲁克（北京）科技有限公司、江南石墨烯研究院、纳米技术及应用国家工程研究中心、上海交通大学分析测试中心、中国计量大学
标准范围
本标准规定了二维材料厚度测量原子力显微镜法的原理、仪器设备、样品前处理、测试方法、厚度计算方法、测量结果的不确定度评定及测试报告。
本标准适用于可以与基底形成台阶的二维材料厚度测量。