T/ZZB 0639-2018 氧化锌铝磁控溅射靶材

标准编号：T/ZZB 0639-2018

标准名称：氧化锌铝磁控溅射靶材

英文名称：Alumium doped zinc oxide magnetron sputtering targets

发布日期：2018-10-19

实施日期：2018-11-01

团体名称：浙江省品牌建设联合会

起草人

杨晔、周山山、何伟、兰品军、朱永明、李翔、宋伟杰、李勇、马通达、杨立红、宋云娜、张凤戈、夏黎海

起草单位

宁波森利电子材料有限公司、宁波市标准化研究院、中国科学院宁波材料技术与工程研究所、国标（北京）认证有限公司、汉能装备科技集团有限公司、北京安泰六九新材料科技有限公司、世泰科特种材料（太仓）有限公司

标准范围

本标准规定了氧化锌铝磁控溅射靶材的术语和定义、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存、质量承诺等。

本标准适用于粉末冶金生产的用于磁控溅射沉积节能Low-E玻璃的功能介质层以及薄膜太阳能电池透明电极层等膜层的氧化锌铝磁控溅射靶材。

标准文档截图