T/ICMTIA 1-2019 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范

中关村集成电路材料产业技术创新联盟

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标准编号：T/ICMTIA 1-2019

标准名称：集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范

英文名称：The Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovative Alliance—Gas base specification

发布日期：2019-04-17

实施日期：2019-10-10

团体名称：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

起草人

郑秋艳、李翔宇、丁成、孙江涛、计燕秋、孙建。

中国船舶重工集团公司第七一八研究所，江苏南大光电材料股份有限公司，大连保税区科利德化工科技开发有限公司。

本标准规范了集成电路制造用气体的生产、研发和使用的管理要求及相关测试程序，是气体生产管理和使用的指南。