T/ICMTIA 1-2019 集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
标准编号:T/ICMTIA 1-2019
标准名称:集成电路材料产业技术创新联盟气体基础规范
英文名称:The Integrated Circuit Materials Industry Technology Innovative Alliance—Gas base specification
发布日期:2019-04-17
实施日期:2019-10-10
团体名称:中关村集成电路材料产业技术创新联盟
起草人
郑秋艳、李翔宇、丁成、孙江涛、计燕秋、孙建。
起草单位
中国船舶重工集团公司第七一八研究所,江苏南大光电材料股份有限公司,大连保税区科利德化工科技开发有限公司。