T/CCGA 30004-2019 电子级八氟环丁烷

中国工业气体工业协会

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标准编号：T/CCGA 30004-2019

标准名称：电子级八氟环丁烷

英文名称：Electronic grade perfluorocyclobutane

发布日期：2019-10-29

实施日期：2020-01-29

团体名称：中国工业气体工业协会

起草人

金向华、许军州、洑春干、周宝军、魏入铎、庄坤华、宋芳芳

苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会

本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。

本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电子行业蚀刻气体。