T/ZSA 72-2019 碳化硅单晶

标准编号：T/ZSA 72-2019

标准名称：碳化硅单晶

英文名称：Monocrystalline Silicon Carbide

发布日期：2019-12-31

实施日期：2020-03-01

团体名称：中关村标准化协会

起草人

陆敏、彭同华、郑红军、陈鹏、刘祎晨、王文军、林健、闫果果、刘春俊、 何丽娟、钮应喜、彭燕

起草单位

中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟、北京天科合达半导体股份有限公司、北京聚睿众邦科技有限公司、北京三平泰克科技有限责任公司、北京天科合达新材料有限公司、新疆天科合达蓝光半导体有限公司、中国科学院物理研究所、中国科学院半导体研究所、中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京华进创威电子有限公司、河北同光晶体有限公司、山东大学、全球能源互联网研究院有限公司

标准范围

本标准规定了4H及6H碳化硅单晶必要的相关术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。

本标准适用于物理气相传输法制备的4H及6H碳化硅单晶。

标准文档截图