T/ZZB 1373-2019 7N 光电子级超纯氨

标准编号：T/ZZB 1373-2019

标准名称：7N 光电子级超纯氨

英文名称：7N photoelectric class hyperpure ammonia

发布日期：2019-11-27

实施日期：2019-12-31

团体名称：浙江省品牌建设联合会

起草人

陈树大、戚栋明、周春阳、朱盛霞、周平、彭昆鹏、查春峰、潘佳伟、卢勇华、 王龙、赵晓兰、陈华燕

起草单位

海宁市英德赛电子有限公司、浙江理工大学、嘉兴学院、杭州士兰明芯科技有限公司

标准范围

本标准规定了7N光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。

本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。

分子式:NH3。

相对分子质量:17.031（按2016年国际相对原子量）。

标准文档截图