T/ZZB 1790-2020 铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备
标准编号:T/ZZB 1790-2020
标准名称:铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备
英文名称:Sputter equipment for Cu-In-Ga-Se thin film solar cells
发布日期:2020-11-06
实施日期:2020-11-30
团体名称:浙江省品牌建设联合会
起草人
来华杭、周海龙、蔡好、袁海萍、洪东、陈敏、虞跃华、王晨、姚亮
起草单位
浙江上方电子装备有限公司。本标准参与起草单位(排名不分):浙江方正轻纺机械检测中心有限公司、慈溪市长信真空设备厂(普通合伙)
标准范围
本文件规定了铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备的术语和定义、结构与使用环境、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。
本文件适用于铜铟镓硒太阳能电池薄膜溅射沉积设备(以下简称“设备”)。