T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

标准编号：T/ZZB 2283-2021

标准名称：半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

英文名称：Ultra-high purity graphite powder for semiconductor silicon carbide crystal

发布日期：2021-08-26

实施日期：2021-09-26

团体名称：浙江省品牌建设联合会

起草人

杨辉、肖绍懿、姜阅、吴厚政、张逊熙、王晓远、朱东锋、徐建平、毛玉珍、刘升、潘小平、王鑫鑫、周童、汪彦龙

起草单位

中钢新型材料股份有限公司、冶金工业信息标准研究院

标准范围

本文件规定了半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉的术语和定义、材料规格说明、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输和贮存、质量承诺。

本文件适用于纯度达到5N（99.999wt%）以上的半导体级碳化硅单晶用石墨粉。

标准文档截图