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T/CSTM 00313-2021 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法
标准编号：T/CSTM 00313-2021
标准名称：基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法
英文名称：Testing method of optical constants for0ptical thin films based on spectro-photo-metric method
发布日期：2021-10-18
实施日期：2022-01-18
团体名称：中关村材料试验技术联盟
起草人
马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、李斌成、易葵、张伟丽、赵元安
起草单位
西南技术物理研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所
标准范围
本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性，并以此反演出膜层光学常数的测试方法。
本文件适用于50nm～5000nm的介质光学薄膜和基片，薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物，基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。