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T/CNIA 0011-2019 气相沉积法碳化硅涂层
标准编号：T/CNIA 0011-2019
标准名称：气相沉积法碳化硅涂层
英文名称：Silicon carbide coating made by vapor deposition
发布日期：2019-02-13
实施日期：2019-06-01
团体名称：中国有色金属工业协会
起草人
于伟华、王彬、田新、张春伟
起草单位
江苏中能硅业科技发展有限公司、江苏协鑫特种材料科技有限公司
标准范围
本标准规定了气相沉积法碳化硅涂层(以下简称“碳化硅涂层”》)的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存，质量证明书和订货单(或合同)内容。
本标准适用于以甲基三氯硅烷和氢气为主要原料，通过气相沉积法制备的碳化硅涂层。产品主要用于光伏领域石墨材料表面。