T/CNIA 0062-2020 电子工业用高纯氢氟酸

标准编号：T/CNIA 0062-2020

标准名称：电子工业用高纯氢氟酸

英文名称：High purity hydrofluoric acid for electronic industry

发布日期：2020-05-27

实施日期：2020-08-01

团体名称：中国有色金属工业协会

起草人

杨晓青、刘刚、岳峥、薛心禄、秦榕、白圣玉、李军、张旸旸、孙燕、张全伟

起草单位

青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司、中巨芯科技有限公司、多氟多化工股份有限公司、有研半导体材料有限公司、苏州晶瑞化学股份有限公司

标准范围

本标准规定了电子工业用高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书、订货单（或合同）内容及安全。

本标准适用于电子工业用高纯氢氟酸（以下简称高纯氢氟酸）。该产品主要应用于电子级多晶硅、液晶显示器、集成电路和超大规模集成电路用硅片、芯片的清洗、蚀刻等。

标准文档截图