标准编号:DB1310/T 227-2020
标准名称:电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术规范
发布日期:2020-10-16
实施日期:2020-11-16
廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司
本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术