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DB44/T 1328-2014 蓝宝石图形化衬底片测试技术规范
标准编号：DB44/T 1328-2014
标准名称：蓝宝石图形化衬底片测试技术规范
发布日期：2014-04-18
实施日期：2014-07-18
起草人
丁晓民、张能、刘南柳、戴立忠、杨鹏、康凯、张国义。
起草单位
东莞市中镓半导体科技有限公司，广东赛翡蓝宝石科技有限公司。
标准范围
本标准规定了用于制备LED的蓝宝石图形化衬底片的测试技术规范，包括蓝宝石图形化衬底片的图形结构、表面质量、图形一致性的测试要求和测试方法。 本标准适用于制备半导体照明器件的氮化物外延生长所用蓝宝石图形化衬底片。