GB/T 26069-2022 硅单晶退火片

国家标准

65浏览

标准编号：GB/T 26069-2022

标准名称：硅单晶退火片

英文名称： Annealed monocrystalline silicon wafers

发布日期：2022-03-09

实施日期：2022-10-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

孙燕、宁永铎、黄笑容、王振国、由佰玲、楼春兰、陈锋、张海英、潘金平

有研半导体硅材料股份公司、浙江众晶电子有限公司、开化县检验检测研究院、浙江金瑞泓科技股份有限公司、中环领先半导体材料有限公司、山东有研半导体材料有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、浙江中晶科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司

本文件规定了硅单晶退火片（以下简称退火片）的分类、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存、随行文件及订货单内容。

本文件适用于通过退火工艺在硅单晶抛光片表面形成一定宽度洁净区的硅片，产品用于技术代180nm ~ 22nm的集成电路。