GB/T 20229-2022 磷化镓单晶

标准编号：GB/T 20229-2022

标准名称：磷化镓单晶

英文名称：Gallium phosphide single crystal

发布日期：2022-03-09

实施日期：2022-10-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

孙聂枫、王阳、李素青、王书杰、张路、许兴、姜剑、李晓岚、刘惠生、邵会民、史艳磊、付莉杰、张晓丹

起草单位

中国电子科技集团公司第十三研究所、有色金属技术经济研究院有限责任公司、有研国晶辉新材料有限公司

标准范围

本文件规定了磷化嫁单晶的牌号、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和随行文件及订货单内容。

本文件适用于制作光电、微电及声光器件用的磷化镓单晶锭及磷化镓单晶研磨片。

标准文档截图