GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试自动非接触扫描法

国家标准

标准编号：GB/T 32280-2022

标准名称：硅片翘曲度和弯曲度的测试自动非接触扫描法

英文名称：Test method for warp and bow of silicon wafers—Automated non-contact scanning method

发布日期：2022-03-09

实施日期：2022-10-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

孙燕、蔡丽艳、王可胜、徐新华、潘金平、曹雁、皮坤林、贺东江、李素青、张海英、王振国、楼春兰、张雪囡

有研半导体硅材料股份公司、合肥中南光电有限公司、洛阳鸿泰半导体有限公司、上海合晶硅材料股份有限公司、天津中环领先材料技术有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、山东有研半导体材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司、浙江海纳半导体有限公司、开化县检验检测研究院、义乌力迈新材料有限公司

本文件描述了利用两个探头在硅片表面自动非接触扫描测试硅片的翘曲度和弯曲度的方法。

本文件适用于直径不小于50mm，厚度不小于100μm的洁净、干燥的硅片，包括切割、研磨、腐蚀、抛光、外延、刻蚀或其他表面状态的硅片，也可用于砷化镓、碳化硅、蓝宝石等其他半导体晶片翘曲度和弯曲度的测试。