DB35/T 1146-2011 硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法

标准编号：DB35/T 1146-2011

标准名称：硅材料中杂质元素含量测定 辉光放电质谱法

英文名称：Impurity Content in Silicon Materials Measured by Glow Discharge Mass Spectrometry

发布日期：2011-04-10

实施日期：2011-07-10

起草人

黄丰、吕佩文、陈伦泰、王永好、林璋、黄瑾

起草单位

中国科学院福建物质结构研究所

标准范围

本标准规定了测定硅材料中杂质元素含量的辉光放电质谱法（GDMS)所涉及的术语和定义、原理、试剂与材料、仪器设备、样品要求、样品要求、分析步骤、结果计算、允许偏差。

本标准适用于纯度不高于99.99999%的硅材料中的杂质元素L i、Be、B、Na、Mg、A 1、P、K、Th、U等元素的测定

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