标准编号:XB/T 515-2020
标准名称:钪铝合金靶材
发布日期:2020-12-09
实施日期:2021-04-01
归口单位:
批准发布部门:工业和信息化部
本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。