XB/T 515-2020 钪铝合金靶材

稀土行业标准

标准编号:XB/T 515-2020

标准名称:钪铝合金靶材

发布日期:2020-12-09

实施日期:2021-04-01

归口单位:

批准发布部门:工业和信息化部

起草人

起草单位

标准范围

本标准适用于铸造法制得的钪铝合金靶材,主要用于半导体及光电等领域。

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