EJ/T 20176-2018 金刚石刀具刃口锋利度的原子力显微镜测量方法

核工业行业标准

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标准编号：EJ/T 20176-2018

标准名称：金刚石刀具刃口锋利度的原子力显微镜测量方法

英文名称：Measurement method of the diamond tool edge radius by atomic force microscope

发布日期：2018-01-18

实施日期：2018-05-01

提出单位：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

归口单位：核工业标准化研究所

批准发布部门：国家国防科技工业局

起草人

岳晓斌、徐敏、孙涛、房丰洲、俞蓓莉、雷大江、游雾、张剑锋、田国玉、张晓峰、刘波、崔海龙

中国工程物理研究院机械制造工艺研究所、复旦大学、哈尔滨工业大学、天津大学、上海舒伯哈特金刚石刀具有限公司、中国工程物理研究院激光聚变研究中心、中国工程物理研究院材料研究所

本标准规定了使用原子力显微镜测量金刚石刀具刃口锋利度的测量原理、测量要求、测量步骤、数据处理及检测报告。

本标准适用于20nm～100nm金刚石车刀刃口锋利度的测量，100nm以上刀具刃口锋利度测量也可参照执行。