T/SBX 021-2019 激光芯片自动划片裂片操作规程
石家庄市标准化协会
标准编号:T/SBX 021-2019
标准名称:激光芯片自动划片裂片操作规程
发布日期:2019-11-25
实施日期:2019-12-15
团体名称:石家庄市标准化协会
起草人
杜海洋、苗惠霞、申卫、张智峰、杨勇峰、王昆、王明先
起草单位
河北圣源光电股份有限公司、河北圣昊光电科技有限公司、深圳市盛世智能装备有限公司、华能左权煤电有限责任公司
标准范围
本规范规定了芯片划片工艺的人员、设备、材料、环境等条件的要求及工艺操作规程。
本规范适用于划裂工艺。
标准文档截图