T/SHXCL 0004-2021 无纺布/聚氨酯复合抛光垫

上海市新材料协会

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标准编号：T/SHXCL 0004-2021

标准名称：无纺布/聚氨酯复合抛光垫

英文名称：Nonwovens/polyurethane composite polishing pad

发布日期：2021-04-12

实施日期：2021-05-30

团体名称：上海市新材料协会

起草人

张泽芳、王海波、彭诗月、苏双峰、刘涛、韩婷婷、孙韬、饶品华、陈晨、李阿伟、郑勇、杨筱琼、赵月昌

海映智研磨材料有限公司、徐州永泽新材料科技有限公司、临汾博利士纳米材料有限公司、上海工程技术大学、名正（浙江）电子装备有限公司、上海华明高纳稀土新材料有限公司

本文件规定了无纺布/聚氨酯复合抛光垫(以下简称抛光垫)的分类、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。

本文件适用于抛光垫，用于硅晶片、LCD 基片及玻璃面板，蓝宝石衬底等材料的抛光，还可应用于 ITO 导电玻璃、玻璃基片、光掩模及 LCD 面罩、铍、熔融石英、磷化铟、铌酸锂、钽酸锂、不锈钢、钨、膨胀玻璃的抛光。