T/JGXH 005-2020 超快激光精密微纳加工设备

标准规范武汉激光学会

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标准编号：T/JGXH 005-2020

标准名称：超快激光精密微纳加工设备

英文名称：Ultrafast laser precision micro & nano machining equipment

发布日期：2020-12-30

实施日期：2020-12-31

团体名称：武汉激光学会

起草人

王建刚、库东峰、王雪辉、陈航、周小庄、冯新康、李婷、朱熠、汪川、雷龙、李煜、刘玉敏、谈玉、王兰

武汉华工激光工程有限责任公司、武汉市标准化研究院

本文件规定了超快激光精密微纳加工设备的主要技术参数、技术要求、安全与防护、精度检验、检验方法、检验规则及标志、包装、运输与储存。
本文件适用于超快激光精密微纳加工设备的研制、生产和交付。