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T/NXCL 003-2021 平面硅锗靶材
标准编号：T/NXCL 003-2021
标准名称：平面硅锗靶材
英文名称：Planar silicon-germanium targets
发布日期：2021-11-11
实施日期：2021-11-11
团体名称：宁夏材料研究学会
起草人
安百俊、罗学涛、盛旺、黄柳青、杨少林、吴建栋、卢辉、侯春平、马金福、杜江华、高忙忙、盛之林、顾燕滨、姜永庆、王黎光、芮阳、姜大川、郭校亮
起草单位
宁夏高创特能源科技有限公司、厦门大学、北方民族大学、宁夏大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、大工（青岛）新能源材料技木研究院有限公司
标准范围
本文件规定了平面硅锗靶材的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规格、标志、包装、运输、贮存等方面的内容。
本文件适用于平面硅锗靶材。