T/DLSHXH 007-2020 电子工业用气体 氧硫化碳
标准编号：T/DLSHXH 007-2020
标准名称：电子工业用气体 氧硫化碳
英文名称：Gas for electronic industry—Carbonyl sulfide
发布日期：2020-09-30
实施日期：2020-10-30
团体名称：大连市石油和化工行业协会
起草人
施旖旎、裴凯、石琳、毕聪智、王明月 、孙瑞玉
起草单位
大连科利德光电子材料有限公司、大连石油和化工行业协会
标准范围
本标准规定了电子工业用气体氧硫化碳的技术要求、试验方法、检验规则及产品的标志、包装、贮运及安全要求。
本标准适用于于以工业氧硫化碳为原料经纯化制备的电子工业用气体氧硫化碳。电子工业用气体氧硫化碳主要用于集成电路领域。
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