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DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
标准编号：DB53/T 500-2013
标准名称：多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
发布日期：2013-08-01
实施日期：2013-10-01
起草人
赵建为、张云晖、钱津旺、金波、亢若谷、马启坤、于晓艳、左世芳、陶明、杨红燕
起草单位
昆明冶研新材料股份有限公司
标准范围
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl 组分含量的方法。
本标准适用于改良西门子法生产多晶硅用三氯氢硅中SiHCl3、SiH2Cl2、SiCl4、HCl含量的测定。测定范围: SiH2Cl2 ＞0.01%，SiCl4＞0.01%，HCl＞0.01%。