DB53/T 619-2014 气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量

云南省地方标准

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标准编号：DB53/T 619-2014

标准名称：气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量

发布日期：2014-08-28

实施日期：2014-12-01

起草人

赵建为、金波、亢若谷、白荣林、马启坤、徐远志、徐灵通、赵祖乔、张云晖、左世芳、杨红燕、陶明、于晓艳

昆明冶研新材料股份有限公司

本标准规定了气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。

本标准适用于氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)、四氯化硅(SiCl4)含量的测定。