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DB53/T 619-2014 气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量
标准编号：DB53/T 619-2014
标准名称：气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量
发布日期：2014-08-28
实施日期：2014-12-01
起草人
赵建为、金波、亢若谷、白荣林、马启坤、徐远志、徐灵通、赵祖乔、张云晖、左世芳、杨红燕、陶明、于晓艳
起草单位
昆明冶研新材料股份有限公司
标准范围
本标准规定了气相色谱法测定四氯化硅及其次组分含量的方法提要、试剂与材料、仪器及装置、分析步骤、结果计算、精密度、试验报告。
本标准适用于氯化氢(HCl)、二氯二氢硅(SiH2Cl2)、三氯氢硅(SiHCl3)、四氯化硅(SiCl4)含量的测定。