DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氢硅

标准编号：DB53/T 499-2013

标准名称：多晶硅用三氯氢硅

发布日期：2013-08-01

实施日期：2013-10-01

起草人

金波、亢若谷、马启坤、赵建为、赵祖乔、罗平、张云晖、李仕勇、宋东明、韩小月

起草单位

昆明冶研新材料股份有限公司

标准范围

本标准规定了多晶硅用三氯氢硅的要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输和贮存等内容。

本标准适用于改良西门子法生产的多晶硅用三氯氢硅。

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