T/BEA 40001-2022 感应耦合等离子体发生器校准规范
标准编号：T/BEA 40001-2022
标准名称：感应耦合等离子体发生器校准规范
英文名称：Calibration specification for inductively coupled plasma generator
发布日期：2022-01-18
实施日期：2022-02-09
团体名称：北京电子仪器行业协会
起草人
柴昊、贾军伟、刘民、张书锋、邓星亮
起草单位
北京东方计量测试研究所
标准范围
本规范规定了感应耦合等离子体发生器的计量特性、校准条件、校准项目、校准方法、校准结果的处理。
本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的感应耦合等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。
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