DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的无损测试四探针法

江苏省地方标准

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标准编号：DB32/T 4378-2022

标准名称：衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻的无损测试四探针法

英文名称：Nano,sub-micron scale film on substrate-Non-destructive test method of sheet resistance-Four probe method

发布日期：2022-10-23

实施日期：2022-11-23

起草人

杨永强、丁海龙、区炳显、谢一麟、陈武魁、刘禹、魏宁、呼志跃、王云超、王勤生、马龙、李璐、屈晓兰、陈辉、秦继恩

江苏省特种设备安全监督检验研究院（国家石墨烯产品质量检验检测中心（江苏））、苏州晶格电子有限公司、河南煜合科技集团有限公司、江苏华永烯科技有限公司、江南大学、无锡华鑫检测技术有限公司、中国矿业大学、烯源科技无锡有限公司

本文件规定了采用导电橡胶探头进行衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜方块电阻四探针无损测试的方法。

本文件适用于目测平坦且表面存在纳米、亚微米尺度薄膜样品的方块电阻测定，方块电阻测试范围为1×10^-4Ω × 10⁴Ω。