HG/T 5962-2021 硅片切割废液处理处置方法

标准编号：HG/T 5962-2021

标准名称：硅片切割废液处理处置方法

英文名称：Treatment and disposal method for waste liquid of silicon cutting

发布日期：2021-08-21

实施日期：2022-02-01

提出单位：中国石油和化学工业联合会

归口单位：全国废弃化学品处置标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

起草人

金月祥、王彦、茹伟原、阮忠强、王立林、金佳媛、陆思伟、倪康、朱鸿宇、王莹、黄正浩

起草单位

嘉兴市环科环保新材料科技有限公司、中海油天津化工研究设计院有限公司、广州市环境保护技术设备有限公司、浙江水知音环保科技有限公司、渤海宏铄（连云港）清洁技术有限公司

标准范围

本文件规定了硅片切割废液（浆）的组成、处理处置方法、环保排放要求。

本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液（浆）的处理处置。

标准文档截图