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T/NXCL 015-2022 硅部件用柱状多晶硅
标准编号：T/NXCL 015-2022
标准名称：硅部件用柱状多晶硅
英文名称：Columnar polysilicon for silicon parts
发布日期：2022-12-02
实施日期：2022-12-02
团体名称：宁夏材料研究学会
起草人
李长苏、顾燕滨、盛旺、丁亚国、武文元、李玲玲、熊欢、吴彦飞、杨文平、刘建斌、杨少林、范占军、马江、杜朋轩、姜永庆、谢君彦
起草单位
宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏高创特能源科技有限公司、北方民族大学、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、宁夏职业技术学院
标准范围
本文件规定了硅部件用柱状多晶硅的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存和订货单(或合同)内容等方面的内容。
本文件柱状多晶硅锭适用于刻蚀机中的硅部件产品。