DB13/T 5631-2022 电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范

标准编号：DB13/T 5631-2022

标准名称：电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚生产技术规范

发布日期：2022-12-27

实施日期：2023-01-27

起草人

贾建亮、贾建恩、孙艳、韩云涛、关海华、李继东

起草单位

廊坊赫尔劳斯太阳能光伏有限公司

标准范围

本文件规定了电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、从业人员、设备、原辅材料、工艺过程、环境要求和管理要求。

本文件适用于电子专用材料单晶硅生长用石英坩埚工艺技术。

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