GB/T 42274-2022 氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法

标准编号：GB/T 42274-2022

标准名称：氮化铝材料中痕量元素（镁、镓）含量及分布的测定 二次离子质谱法

英文名称：Determination of the content and distribution of trace elements (magnesium, gallium) in aluminum nitride materials—Secondary ion mass spectrometry

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-04-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

齐俊杰、魏学成、卫喆、胡超胜、王军喜、李晋闽、张成荣、闫丹、李素青、李志超、许磊、魏明、刘江华

起草单位

北京科技大学、有色金属技术经济研究院有限责任公司、青海圣诺光电科技有限公司、中国科学院半导体研究所、中国科学院青海盐湖研究所

标准范围

本文件描述了氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的二次离子质谱测试方法。

本文件适用于氮化铝单晶中痕量镁和镓含量及分布的定量测定，测定范围为镁、镓的含量均不小于1×10¹⁶cm^-3，元素含量（原子个数百分比）不大于1%。

标准文档截图