GB/T 12963-2022 电子级多晶硅

标准编号：GB/T 12963-2022

标准名称：电子级多晶硅

英文名称：Electronic-grade polycrystalline silicon

发布日期：2022-12-30

实施日期：2023-07-01

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

起草人

田新、将文武、李素青、秦榕、贺东江、陈卫群、邱艳梅、李斌、付绪光、董先君、雷聪、赵培芝、万首正、王彬、孙燕、宗冰、徐岩、刘晓霞、张遵、潘金平、张园园

起草单位

江苏鑫华半导体科技股份有限公司、青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、有研半导体硅材料股份公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、新特能源股份有限公司、上海赛夫特半导体材料有限公司、浙江海纳半导体股份有限公司、东方电气（乐山）峨半高纯材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、麦斯克电子材料股份有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、四川永祥新能源有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、洛阳中硅高科技有限公司

标准范围

本文件规定了电子级多晶硅的牌号和类别、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容。

本文件适用于以氯硅烷、硅烷制得的电子级多晶硅（以下简称“多晶硅”）。

标准文档截图